SEMI PV2-2009 标准详情
- 标准号：SEMI PV2-2009
- 中文标题：
- 英文标题：Guide For Pv Equipment Communication Interfaces (pveci)
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI PV2-2009
内容简介
Provides guidelines for IT equipment automation/integration interface of process, automation and metrology equipment used in photovoltaic (PV) manufacturing. Also intends to produce economic benefits for both manufacturers and equipment suppliers.
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