ISO 14644-16-2019 标准详情
- 标准号：ISO 14644-16-2019
- 中文标题：
- 英文标题：Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 16: Energy efficiency in cleanrooms and separative devices
- 标准类别：国际标准化组织ISO
- 发布日期：
ISO 14644-16-2019
内容简介
This document gives guidance and recommendations for optimizing energy usage and maintaining energy efficiency in new and existing cleanrooms, clean zones and separative devices. It provides guidance for the design, construction, commissioning and op
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