DIN EN 62047-2-2007 半导体装置.微型电机装置.第2部分:薄膜材料的拉伸试验方法
DIN EN 62047-2-2007 标准详情
- 标准号：DIN EN 62047-2-2007
- 中文标题：半导体装置.微型电机装置.第2部分:薄膜材料的拉伸试验方法
- 英文标题：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials (IEC 62047-2:2006); German version EN 62047-2:2006
- 标准类别：德国标准
- 发布日期：2007-02
内容简介
This International Standard specifies the method for tensile testing of thin film materials with length and width under 1 mm and thickness under 10 ? which are main structural materials for micro-electromechanical systems (MEMS), micromachines and si
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