ASTM F534-1997 标准详情
- 标准号：ASTM F534-1997
- 中文标题：硅片弯曲标准试验方法
- 英文标题：standard test method for bow of silicon wafers
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：1997
ASTM F534-1997 硅片弯曲标准试验方法
内容简介
1.1 This test method covers determination of the average amount of bow of nominally circular silicon wafers, polished or unpolished, in the free (non-clamped) condition. 1.2 This test method is intended primarily for use with wafers that meet the d
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