ISO 21859-2019 标准详情
- 标准号：ISO 21859-2019
- 中文标题：
- 英文标题：Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) -- Test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equipment
- 标准类别：国际标准化组织ISO
- 发布日期：
ISO 21859-2019
内容简介
This document specifies a test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equipment. It is applicable to ceramic components of plasma-resistant components in dry etching chambers used in semiconductor manufactur
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