ASTM E1438-2011 标准详情
- 标准号：ASTM E1438-2011
- 中文标题：使用SIMS测量溅射深度剖析界面宽度的指南
- 英文标题：Standard Guide for Measuring Widths of Interfaces in Sputter Depth Profiling Using SIMS
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：2011-11-01
ASTM E1438-2011 使用SIMS测量溅射深度剖析界面宽度的指南
内容简介
Although it would be desirable to measure the extent of profile distortion in any unknown sample by using a standard sample and this guide, measurements of interface width (profile distortion) can be unique to every sample composition (1, 2, 3).3 Th
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