ASTM F1451-92 标准详情
- 标准号：ASTM F1451-92
- 中文标题：测量孢子囊群在硅晶片上通过非接触式的自动扫描标准测试方法
- 英文标题：Standard Test Method for Measuring Sori on Silicon Wafers by Automated Noncontact Scanning
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：
ASTM F1451-92 测量孢子囊群在硅晶片上通过非接触式的自动扫描标准测试方法
内容简介
CONTAINED IN VOL. 10.05, 2001 Covers a non-contacting, nondestructive procedure to determinethe sori of clean, dry semiconductor wafers. Measures sori of a wafer corrected for all mechanical forces applied during the test. Also includes a means of ca
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