ISO/TR 16268-2009 表面化学分析.验证离子注入产生的工作参考材料中保留面剂量的建议规程
ISO/TR 16268-2009 标准详情
- 标准号：ISO/TR 16268-2009
- 中文标题：表面化学分析.验证离子注入产生的工作参考材料中保留面剂量的建议规程
- 英文标题：Surface chemical analysis - Proposed procedure for certifying the retained areic dose in a working reference material produced by ion implantation
- 标准类别：国际标准化组织标准ISO
- 发布日期：2009-10
内容简介
ISO/TR 16268:2009 specifies a procedure for the certification of the areic dose of an ion-implanted analyte element of atomic number larger than that of silicon retained in a working reference material (WoRM) intended for surface-analytical use. The
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