ASTM F672-2001 标准详情
- 标准号：ASTM F672-2001
- 中文标题：用分布电阻探头测量硅晶片垂直于表面的纵断面电阻率的标准试验方法
- 英文标题：standard test method for measuring resistivity profiles perpendicular to the surface of a silicon wafer using a spreading resistance probe
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：2001
ASTM F672-2001 用分布电阻探头测量硅晶片垂直于表面的纵断面电阻率的标准试验方法
内容简介
This standard was transferred to SEMI (www.semi.org) May 20031.1 This test method covers measurement of the resistivity profile perpendicular to the surface of a silicon wafer of known orientation and type. Note 1--This test method may also be applic
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