ASTM F864-84 标准详情
- 标准号：ASTM F864-84
- 中文标题：实践硬表面玻璃Photoplates检验
- 英文标题：Practice for Inspection of Hardsurface Glass Photoplates
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：
ASTM F864-84 实践硬表面玻璃Photoplates检验
内容简介
CONTAINED IN VOL 10.05 1997Describes inspection of hard-surface glass photoplates to produce photomasks for semiconductor and microelectronic device fabrication. Applies to hard photoplates without photoresist. Limited to detecting surface contaminat
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