BS ISO 17560-2002 标准详情
- 标准号：BS ISO 17560-2002
- 中文标题：表面化学分析.再生离子质量的光谱测定.硅中硼的深仿形方法
- 英文标题：surface chemical analysis - secondary-ion mass spectrometry - method for depth profiling of boron in silicon
- 标准类别：英国标准
- 发布日期：2002-08-28
BS ISO 17560-2002 表面化学分析.再生离子质量的光谱测定.硅中硼的深仿形方法
内容简介
This International Standard specifies a secondary-ion mass spectrometric method using magnetic-sector or quadrupole mass spectrometers for depth profiling of boron in silicon, and using stylus profilometry or optical interferometry for depth scale ca
* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，本网站所提供的电子文本仅供参考，请以正式出版物为准。仅供个人标准化学习，研究使用。如有侵权，请及时联系我们！
- 标准质量：
- ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准，期待。
② 仅供网友学习交流，若侵犯了您的权益，请联系我们予以删除。
③ 代购正版，联系：