ASTM F1810-1997(2002) 标准详情
- 标准号：ASTM F1810-1997(2002)
- 中文标题：择优统计硅片侵蚀或表面缺陷的标准试验方法
- 英文标题：Standard Test Method for Counting Preferentially Etched or Decorated Surface Defects in Silicon Wafers
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：1997
ASTM F1810-1997(2002) 择优统计硅片侵蚀或表面缺陷的标准试验方法
内容简介
This standard was transferred to SEMI (www.semi.org) May 20031.1 This test method describes the technique to count the density of surface defects in silicon wafers by microscopic analysis.Note 18212;Practical use of a defect counting method requires
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