ASTM F89-1968(1973) 标准详情
- 标准号：ASTM F89-1968(1973)
- 中文标题：微电子器件加工过程用的光刻膜中针孔密度的测定
- 英文标题：method for determination of the modulus of a flexible barrier material by sonic method withdrawn 1980
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：1968
ASTM F89-1968(1973) 微电子器件加工过程用的光刻膜中针孔密度的测定
内容简介
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