DIN EN ISO 10692-1-2003 储气瓶.微电子工业用储气瓶阀接头.第1部分:输出口接头
DIN EN ISO 10692-1-2003 标准详情
- 标准号：DIN EN ISO 10692-1-2003
- 中文标题：储气瓶.微电子工业用储气瓶阀接头.第1部分:输出口接头
- 英文标题：Gas cylinders - Gas cylinder valve connections for use in the microelectronic industry - Part 1: Outlet connections (ISO 10692-1:2001); German version EN ISO 10692-1:2001
- 标准类别：德国标准
- 发布日期：2003-04
内容简介
The document applies to the outlet connections of gas cylinder valves for gases and gas mixtures and concerns special requirements where the highest levels of cleanliness and freedom from particles are demanded for the manufacture of microelectronic
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