ASTM E684-1995(2000) 固体表面溅镀深度压型用大直径离子束电流密度的近似测定规程
ASTM E684-1995(2000) 标准详情
- 标准号：ASTM E684-1995(2000)
- 中文标题：固体表面溅镀深度压型用大直径离子束电流密度的近似测定规程
- 英文标题：standard practice for approximate determination of current density of large-diameter ion beams for sputter depth profiling of solid surfaces
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：1995
内容简介
1.1 This practice describes a simple and approximate method for determining the shape and current density of ion beams. The practice is limited to ion beams of diameter greater than 0.5 mm of the type used for sputtering of solid surfaces to obtain s
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