ASTM E1634-2011 标准详情
- 标准号：ASTM E1634-2011
- 中文标题：溅射焰口深度测量的实施指南
- 英文标题：Standard Guide for Performing Sputter Crater Depth Measurements
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：2011-11-01
ASTM E1634-2011 溅射焰口深度测量的实施指南
内容简介
Sputter crater depth measurements are performed in order to determine a sputter rate (depth/time) for each matrix sputtered during a sputter depth profile or similar in-depth type analyses. From sputter rate values, a linear depth scale can be calcul
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