ISO 14644-12-2018 标准详情
- 标准号：ISO 14644-12-2018
- 中文标题：
- 英文标题：Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 12: Specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration
- 标准类别：国际标准化组织ISO
- 发布日期：
ISO 14644-12-2018
内容简介
This document covers the monitoring of air cleanliness by particles in terms of concentration of airborne nanoscale particles.For monitoring purposes, only populations of particles with a lower size limit of 0.1 microns (100 nm) or less ? "nanos
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