IEC 62047-12-2011 标准详情
- 标准号：IEC 62047-12-2011
- 中文标题：半导体器件.微电机器件.第12部分:使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法
- 英文标题：semiconductor devices - micro-electromechanical devices - part 12: bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of mems structures
- 标准类别：国际电工委员会标准
- 发布日期：2011-09-13
