ISO 14644-5-2004 标准详情
- 标准号：ISO 14644-5-2004
- 中文标题：洁净室和相关控制环境.第5部分:操作
- 英文标题：Cleanrooms and associated controlled environments - Part 5: Operations
- 标准类别：国际标准化组织标准ISO
- 发布日期：2004-08
ISO 14644-5-2004 洁净室和相关控制环境.第5部分:操作
内容简介
CLEAN ROOMS,ENVIRONMENTAL CLEANLINESS,AIR CLEANING EQUIPMENT,DECONTAMINATION,CLEANING,ROOMS,AIR TREATMENT DEVICES,CONTAMINATION
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