ISO 14644-15-2017 标准详情
- 标准号：ISO 14644-15-2017
- 中文标题：
- 英文标题：Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 15: Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration
- 标准类别：国际标准化组织ISO
- 发布日期：
ISO 14644-15-2017
内容简介
ISO 14644-15:2017 provides requirements and guidelines for assessing the chemical airborne cleanliness of equipment and materials which are foreseen to be used in cleanrooms and associated controlled environments which are linked to the ISO standard
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