ASTM F 25/F 25M-2009 电子及类似用途用的清洁室及其它防尘区域空气中粒状杂质的筛分和计算的标准试验方法
ASTM F 25/F 25M-2009 标准详情
- 标准号：ASTM F 25/F 25M-2009
- 中文标题：电子及类似用途用的清洁室及其它防尘区域空气中粒状杂质的筛分和计算的标准试验方法
- 英文标题：standard test method for sizing and counting airborne particulate contamination in cleanrooms and other dust-controlled areas
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：2009-04-01
内容简介
1.1 This test method covers counting and sizing airborne particulate matter 5 x00B5;m and larger (macroparticles). The sampling areas are specifically those with contamination levels typical of cleanrooms and dust-controlled areas. 1.2 The values sta
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