ISO 14706-2000 标准详情
- 标准号：ISO 14706-2000
- 中文标题：表面化学分析 用总反射X-射线荧光(TXRF)测定法测定硅晶片的表面基本的污染
- 英文标题：Surface chemical analysis - Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
- 标准类别：国际标准化组织标准ISO
- 发布日期：2000-12
