SEMI G78-1999 标准详情
- 标准号：SEMI G78-1999
- 中文标题：测试方法比较全自动芯片探针系统UTILIZING过程特定的测量
- 英文标题：TEST METHOD FOR COMPARING AUTOMATED WAFER PROBE SYSTEMS UTILIZING PROCESS-SPECIFIC MEASUREMENTS
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：1999-06-01
SEMI G78-1999 测试方法比较全自动芯片探针系统UTILIZING过程特定的测量
内容简介
Defines the terms and provide a means of comparative, or relative measurement for the automated wafer prober functions- Accuracy, Repeatability and Throughput.
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