IEC 62374-2007 标准详情
- 标准号：IEC 62374-2007
- 中文标题：半导体器件.栅极介电薄膜用时间相关的电介质击穿(TDDB)试验
- 英文标题：Semiconductor devices - Time dependent dielectric breakdown (TDDB) test for gate dielectric films
- 标准类别：国际电工委员会标准
- 发布日期：2007-03
IEC 62374-2007 半导体器件.栅极介电薄膜用时间相关的电介质击穿(TDDB)试验
内容简介
This International Standard provides a test method of Time Dependent Dielectric Breakdown(TDDB) for gate dielectric films on semiconductor devices and a product lifetime estimationmethod of TDDB failure.
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