ISO 12406-2010 标准详情
- 标准号：ISO 12406-2010
- 中文标题：表面化学分析.二次离子质谱分析法.硅中砷的深度剖析法
- 英文标题：surface chemical analysis -- secondary-ion mass spectrometry -- method for depth profiling of arsenic in silicon
- 标准类别：国际标准化组织标准ISO
- 发布日期：2010-11-08
ISO 12406-2010 表面化学分析.二次离子质谱分析法.硅中砷的深度剖析法
内容简介
ISO 12406:2010 specifies a secondary-ion mass spectrometric method using magnetic-sector or quadrupole mass spectrometers for depth profiling of arsenic in silicon, and using stylus profilometry or optical interferometry for depth calibration. This m
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