NF E05-031-603-2013 标准详情
- 标准号：NF E05-031-603-2013
- 中文标题：产品几何技术规范（GPS ） - 表面结构：面 - 部分603 ：非接触标称特性（相移干涉显微镜）仪器
- 英文标题：Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture : areal - Part 603: nominal characteristics of non-contact (phase shifting interferometric microscopy) instruments
- 标准类别：法国国家NF
- 发布日期：2013-12-06
