DIN EN 62276-2006 用于表面声波装置的单晶硅片.规范和测量方法
DIN EN 62276-2006 标准详情
- 标准号：DIN EN 62276-2006
- 中文标题：用于表面声波装置的单晶硅片.规范和测量方法
- 英文标题：Single crystal wafers for surface acoustic wave (SAW) device applications - Specifications and measuring methods (IEC 62276:2005); German version EN 62276:2005
- 标准类别：德国标准
- 发布日期：2006-04
内容简介
This International Standard applies to the manufacture of synthetic quartz, lithium niobate (LN), lithium tantalate (LT), lithium tetraborate (LBO), and lanthanum gallium silicate (LGS) single crystal wafers intended for use as sustractes in the manu
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