ISO 14237-2010 表面化学分析 次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
ISO 14237-2010 标准详情
- 标准号：ISO 14237-2010
- 中文标题：表面化学分析 次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
- 英文标题：surface chemical analysis secondary-ion mass spectrometry determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials second edition
- 标准类别：国际标准化组织标准ISO
- 发布日期：2010-07-15
内容简介
This International Standard specifies a secondary-ion mass spectrometric method for the determination of boron atomic concentration in single-crystalline silicon using uniformly doped materials calibrated by a certified reference material implanted w
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