DIN EN ISO 14644-8-2007 标准详情
- 标准号：DIN EN ISO 14644-8-2007
- 中文标题：洁净室及其控制环境.第8部分:空气分子污染物的分类
- 英文标题：cleanrooms and associated controlled environments - part 8: classification of airborne molecular contamination
- 标准类别：德国标准
- 发布日期：2007-04-01
DIN EN ISO 14644-8-2007 洁净室及其控制环境.第8部分:空气分子污染物的分类
内容简介
This part of ISO 14644 covers the classification of airborne molecular contamination (AMC) in cleanrooms and associated controlled environments, in terms of airborne concentrations of specific chemical substances (individual, group or category) and p
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