SEMI C53-2004 标准详情
- 标准号：SEMI C53-2004
- 中文标题：
- 英文标题：Specifications For Dimethyl Sulfoxide (dmso) [grades 1 And 2]
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI C53-2004
内容简介
Provides the requirements for dimethyl sulfoxide used in the semiconductor industry and testing procedures to support those standards.
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