SEMI F58-2000
SEMI F58-2000 标准详情
- 标准号：SEMI F58-2000
- 中文标题：
- 英文标题：Test Method For Determination Of Moisture Dry-down Characteristics Of Surface-mounted And Conventional Gas Distribution Systems By Atmospheric Pressure Ionization Mass Spectrometry (apims)
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
内容简介
Describes the procedure for determination of the moisturedry-down characteristics (quantity of removable moisture)of surface mounted and conventional gas distribution systems (integrated gas distribution systems).
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