EIA JESD87-2001 标准详情
- 标准号：EIA JESD87-2001
- 中文标题：标准测试结构aicu金属化与阻隔材料的可靠性评估
- 英文标题：standard test structures for reliability assessment of aicu metallizations with barrier materials
- 标准类别：美国电子工业协会标准
- 发布日期：2001-07-01
EIA JESD87-2001 标准测试结构aicu金属化与阻隔材料的可靠性评估
内容简介
Describes design of test structures needed to assess the reliability of aluminum-copper, refractory metal barrier interconnect systems. Includes any metal interconnect system where a refractory metal barrier or other barrier material prevents the flo
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