SEMI F12-1998 标准详情
- 标准号：SEMI F12-1998
- 中文标题：Test方法来检查接头的密封性能，用碳氟材料制成，在经受热循环
- 英文标题：TEST METHOD TO DETERMINE THE SEALING CAPABILITIES OF FITTINGS, MADE OF FLUOROCARBON MATERIAL, AFTER BEING SUBJECTED TO A HEAT CYCLE
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：1998-09-01
SEMI F12-1998 Test方法来检查接头的密封性能，用碳氟材料制成，在经受热循环
内容简介
Gives a uniform method for determining the sealing capabilities of fluorocarbon resin fittings, once they have been exposed to an elevated ambient temperature and cooled to room temperature/Heat Cycle. It can be used to characterize the thermal chara
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