ASTM F523-1993(1997) 标准详情
- 标准号：ASTM F523-1993(1997)
- 中文标题：对抛光硅片表面的肉眼目视检查的标准做法
- 英文标题：standard practice for unaided visual inspection of polished silicon wafer surfaces
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：1993
ASTM F523-1993(1997) 对抛光硅片表面的肉眼目视检查的标准做法
内容简介
1.1 This practice covers an inspection procedure for determining the surface quality of silicon wafers that have been polished on one side. 1.2 This practice is intended as a large-volume acceptance method and as such does not require use of a micr
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