ASTM F671-1999 标准详情
- 标准号：ASTM F671-1999
- 中文标题：硅晶片及其他电子材料的平面长度测量的试验方法
- 英文标题：standard test method for measuring flat length on wafers of silicon and other electronic materials
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：1999
ASTM F671-1999 硅晶片及其他电子材料的平面长度测量的试验方法
内容简介
This standard was transferred to SEMI (www.semi.org) May 20031.1 This test method covers techniques for determination of the length of the flatted portion of a wafer periphery. 1.2 This test method is intended primarily for use on electronic materi
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