ASTM F674-1992(1999) 标准详情
- 标准号：ASTM F674-1992(1999)
- 中文标题：为扩展电阻测量准备硅的标准做法
- 英文标题：standard practice for preparing silicon for spreading resistance measurements
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：1992
ASTM F674-1992(1999) 为扩展电阻测量准备硅的标准做法
内容简介
This standard was transferred to SEMI (www.semi.org) May 20031.1 This practice covers the surface preparation of silicon samples prior to measurement of resistivity variations by the spreading resistance technique. 1.2 Separate procedures are given
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