ASTM F2405-2004(2011) 用高质量分辨率辉光放电质谱仪测量高纯度铜中痕量金属杂质的标准试验方法
ASTM F2405-2004(2011) 标准详情
- 标准号：ASTM F2405-2004(2011)
- 中文标题：用高质量分辨率辉光放电质谱仪测量高纯度铜中痕量金属杂质的标准试验方法
- 英文标题：Standard Test Method for Trace Metallic Impurities in High Purity Copper by High-Mass-Resolution Glow Discharge Mass Spectrometer
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：2004
内容简介
This test method is intended for application in the semiconductor industry for evaluating the purity of materials (for example, sputtering targets, evaporation sources) used in thin film metallization processes. This test method may be useful in addi
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