ASTM F672-1988(1995)E1 用分布电阻探头测量硅晶片垂直于表面的纵断面电阻率的标准试验方法
ASTM F672-1988(1995)E1 标准详情
- 标准号：ASTM F672-1988(1995)E1
- 中文标题：用分布电阻探头测量硅晶片垂直于表面的纵断面电阻率的标准试验方法
- 英文标题：standard test method for measuring resistivity profiles perpendicular to the surface of a silicon wafer using a spreading resistance probe
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：1988
内容简介
1.1 This test method covers measurement of the resistivity profile perpendicular to the surface of a silicon wafer of known orientation and type. Note 1--This test method may also be applicable to other semiconductor materials, but feasibility and pr
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