ASTM F673-1990 测量带非接触涡流计量器的半导体胶片的半导体片电阻的方法
ASTM F673-1990 标准详情
- 标准号：ASTM F673-1990
- 中文标题：测量带非接触涡流计量器的半导体胶片的半导体片电阻的方法
- 英文标题：standard test methods for measuring resistivity of semiconductor slices or sheet resistance of semiconductor films with a noncontact eddy-current gage e1-1996 r(1996)
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：1990-00-00
内容简介
1.1 These test methods cover the nondestructive measurement of bulk resistivity of silicon and certain gallium-arsenide slices and of the sheet resistance of thin films of silicon or gallium-arsenide fabricated on a limited range of substrates at the
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