SEMI MF2139-2003 标准详情
- 标准号：SEMI MF2139-2003
- 中文标题：
- 英文标题：Test Method For Measuring Nitrogen Concentration In Silicon Substrates By Secondary Ion Mass Spectrometry
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI MF2139-2003
内容简介
Specifies the determination of total nitrogen concentration in the bulk of single crystal substrates using secondary ion mass spectrometry (SIMS).
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