SEMI E133-2007 标准详情
- 标准号：SEMI E133-2007
- 中文标题：
- 英文标题：Provisional Specification For Automated Process Control Systems Interface
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI E133-2007
内容简介
Focuses on defining PCS capabilities, functional groups, and functional group interfaces. The standard is structured so that new functional groups can be added to the standard through future balloting.
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