IEC 62047-13-2012 标准详情
- 标准号：IEC 62047-13-2012
- 中文标题：半导体装置.微机电装置.第13部分:测量MEMS结构粘接强度的折弯和剪切试验方法
- 英文标题：semiconductor devices - micro-electromechanical devices - part 13: bend - and shear - type test methods of measuring adhesive strength for mems structures
- 标准类别：国际电工委员会标准
- 发布日期：2012-02-28
