SEMI C21-2001 标准详情
- 标准号：SEMI C21-2001
- 中文标题：规范和准则，氢氧化铵
- 英文标题：Specifications And Guideline For Ammonium Hydroxide
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI C21-2001 规范和准则，氢氧化铵
内容简介
Purpose of this document is to standardize requirements for ammonium hydroxide used in the semiconductor industry and testing procedures to support those standards.
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