SEMI S14-2004 标准详情
- 标准号：SEMI S14-2004
- 中文标题：安全指南火灾风险评估和缓解对于半导体制造设备
- 英文标题：Safety Guidelines For Fire Risk Assessment And Mitigation For Semiconductor Manufacturing Equipment
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI S14-2004 安全指南火灾风险评估和缓解对于半导体制造设备
内容简介
Gives considerations to the manufacturers of semiconductor manufacturing equipment that will assist them in assessing and mitigating the risk to equipment and product associated with fire and combustion by-products.
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