DIN EN 62047-4-2011 半导体器件.微电机器件.第4部分:MEMS一般要求(IEC 62047-4-2008);德文版本EN 62047-4-2010
DIN EN 62047-4-2011 标准详情
- 标准号：DIN EN 62047-4-2011
- 中文标题：半导体器件.微电机器件.第4部分:MEMS一般要求(IEC 62047-4-2008);德文版本EN 62047-4-2010
- 英文标题：halbleiterbauelemente - bauteile der mikrosystemtechnik - teil 4: fachgrundspezifikation fuer mikrosystemtechnik (iec 62047-4:2008); deutsche fassung en 62047-4:2010 semiconductor devices - micro-electromechanical devices - part 4: generic specificat
- 标准类别：德国标准
- 发布日期：2011-03-01
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