SEMI MF95-2007 标准详情
- 标准号:SEMI MF95-2007
- 中文标题:
- 英文标题:Test Method For Thickness Of Lightly Doped Silicon Epitaxial Layers On Heavily Doped Silicon Substrates Using An Infrared Dispersive Spectrophotometer
- 标准类别:国际半导体设备与材料协会
- 发布日期:
Gives a technique for the measurement of the thickness of epitaxial layers of silicon deposited on silicon substrates.
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