SEMI C52-2001 标准详情
- 标准号：SEMI C52-2001
- 中文标题：
- 英文标题：Specification For The Shelf Life Of A Speciality Gas
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI C52-2001
内容简介
Describes terminology and to recommend minimum periods for the shelf lives of specialty gases.
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