SEMI C12-1-1995 标准详情
- 标准号：SEMI C12-1-1995
- 中文标题：指引氢氧化铵， C级
- 英文标题：Guideline For Ammonium Hydroxide, Tier C
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI C12-1-1995 指引氢氧化铵， C级
内容简介
Specific to Ammonium Hydroxide, Tier C. Tier C refers to third generation Guidelines currently in development by the North American Process Chemicals Committee. The Guidelines are intended to describe the quality required to produce IC's whose criti
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