SEMI C8-4-1998 标准详情
- 标准号：SEMI C8-4-1998
- 中文标题：标准对于4,9 ％的氢氟酸（10:1 V / V） ，三级
- 英文标题：Standard For 4.9% Hydrofluoric Acid (10:1 V/v), Grade 3
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI C8-4-1998 标准对于4,9 ％的氢氟酸（10:1 V / V） ，三级
内容简介
Intended to establish the general procedures, specifications, definitions, and analytical procedures for 4.9% hydrofluoric acid (10-1 v/v), Grade 3. Products within all of the requirements can be described as "meeting SEMI specifications." Where an
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