SEMI E49.8-2003 标准详情
- 标准号：SEMI E49.8-2003
- 中文标题：引导高纯度和超高纯度气体分配系统在半导体制造设备
- 英文标题：Guide For High Purity And Ultrahigh Purity Gas Distribution Systems In Semiconductor Manufacturing Equipment
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI E49.8-2003 引导高纯度和超高纯度气体分配系统在半导体制造设备
内容简介
Specifies guidelines for high purity (HP) and ultrahigh purity (UHP) gas distribution systems in semiconductor manufacturing equipment.
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